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sensor wafer

公司自主研发多种压阻式压力敏感芯片,压力量程从1kpg到5mpa,采用6寸或8寸mems产线加工完成,其压力敏感芯片由一个弹性膜及集成在膜上的四个电阻组成,四个压敏电阻形成了惠斯通电桥结构,当有压力作用在弹性膜上时电桥会产生一个与所加压力成线性比例关系的电压输出信号。良好的线性、重复性和稳定性以及高灵敏度,方便用户采用运放或集成电路针对输出进行调试。适用于充油隔离及各种简易封装的压力传感器。

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